CINNOResearch产业资讯，日本光侦测器制造商浜松（HamamatsuPhotonics）研发了一款可快速检测晶圆上microLED的外观、辉度、发光波长是否有异常的“MiNYTMPLmicroLEDPL检测设备C-01”。采用光致发光测量技术（PhotoLuminescence，以下简称为“PL”）来检测microLED的异常问题，所用光致发光测量技术是基于滨松自主研发的成像模组（ImagingModule）和图像处理技术。
MiNYTMPL系统在检测MicroLED芯片时能够快速判断芯片是否合格，这有利于提升显示用MicroLED产品的良率及MicroLED的研发效率。。此外，有望在未来的量产中有效地进行全数检车（全面检测）。自3月8日（星期一）起，开始向日本国内外的LED厂家、显示屏厂家销售此产品。
注：PL测量法，即PhotoLuminescence，通过图像显示光激发发光，以不接触、不破坏的方式评价LED等产品的特性。
研发背景
单边尺寸在微米（以下简称为“um”，是一米的百万分之一）以下的LED被称为“microLED”。与液晶、有机EL（OLED）等传统显示屏相比，microLED具有高辉度、低功耗、长寿命的特点，因此作为新一代显示屏具有良好的市场前景，正在推进提高良率的研发工作。
通常LED是运用可视光图像进行外观检查，用测试针对准晶圆上数万个LED并通电，通过使LED发光来检测其发光特性（EL检测）。然而，一片晶圆上有数百万颗microLED，就难以再运用EL检测来实现全数检测。此外，虽然也可以运用分光器来检测发光特性，但单次检测的范围有限，因此迫切需要一种可全数检测microLED外观，且可以快速检测其辉度、发光波是否有异常的设备。
产品概要
本产品是一种依据可视光、PL两种图像来快速检测晶圆上microLED外观、辉度、发光波长的设备。
将由microLED形成的、直径约为mm的晶圆置于本产品上，即可通过可视光获得microLED的缺陷、伤痕等外观信息。然后，通过PL图像获得辉度、发光波长的信息，汇总并解析以上信息来判断产品是否为良品。
检测结果的印象图（图片来源：浜松